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製品紹介

研究・開発【エレクトロニクス分野】

スピンコーター MS-B100


メーカー ミカサ株式会社
型式 MS-B100
超コンパクトボディーに機能を凝縮、簡単に膜厚作業が行えます。
研究者一人に1台のワンサイズ、ハイパフォーマンスモデルです。

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特徴
● 優れたコストパフォーマンス・コンパクト設計
● ±1rpmと、非常に高い回転精度
● 回転数表示は信頼性の高い実回転数表示
● プログラムは最大100ステップ入力可能
● 回転スロープアップ/ダウン機能付
● 角基板等に便利な停止位置設定機能付
● アクリル製蓋付(鍋蓋式)
仕様
【最大基板サイズ】 φ4インチウエハーまたは75㎜角基板
【回転数(rpm)】 20~8,000
【回転精度】 ±1rpm(負荷時)
【プログラム機能】 100ステップ×10パターン、回転数、時間(999.9sec)、Slope、position、
           プログラム№呼出機能、真空モード切替、真空圧表示などの切替、キープロテクト機能
【セーフティーインターロック】 蓋:オプション  真空:標準装備
【滴下 装置】 オプション
【使用真空源】 -0.08~-0.1MPa
【電   源】 AC100~240V   50/60Hz 5A
【外形寸法(㎜)】 260W×230H×330D
【スピン室内径】  φ220㎜
【重   量】    12kg
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