ホーム製品紹介エレクトロニクス分野:異物・外観検査 > 膜厚モニター FE-300

製品紹介

異物・外観検査【エレクトロニクス分野】

膜厚モニター FE-300


メーカー 大塚電子株式会社
型式 FE-300
コンパクト・低価格・高性能!
簡単操作で10nm~40μmの高精度な膜厚測定ができます。
絶対反射率測定、多層膜厚解析(10層)、光学定数解析
(n:屈折率、k:消衰係数)の測定が可能です。


詳細はこちら

特徴
● 薄膜から厚膜の幅広い膜厚に対応
● 反射スペクトルを用いた膜厚解析
● コンパクト・低価格でありながらも高精度測定を実現
● 条件設定や測定操作が簡単。どなたでも手軽に膜厚測定可能。
● 非線形最小二乗法、最適化法、PV法、FFT解析法などによって幅広い種類の膜厚測定が可能
● 非線形最小二乗法の膜厚解析アルゴリズムにより、光学定数解析(n:屈折率、k:消衰係数)が可能
ページTOPへ