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イオンビームミリングシステム 


メーカー ライカマイクロシステムズ
型式 EM RES102

メーカーデモ機です。

TEM仕様ですがSEM用オプションのご用意も可能です。

詳細は弊社までご一報ください・・・

定価:¥24,500,000   販売価格→¥11,000,000(税抜)

特徴
● 1台のベンチトップユニットで、TEM、SEM、LMのすべての試料作製に対応(装置はTEM仕様)
● LAN経由でミリングプロセスを外部から制御可能
● 最大25mm径の試料作製が可能
● ミリングパラメータをコンピュータで完全に制御
仕様
【イオン源】
 調整可能な2つのArイオンソースを装備
【イオンビーム加速電圧】
 0.8KeV~10.0KeVの全範囲で0.1KeVの単位で調整可能
【ミリング角度】
 ±45°以上の調整が可能
【液体窒素冷却システム】
 液体窒素冷却自動制御機構
【サンプル回転角】
 0~360℃の間で任意に制御可能
【顕微鏡観察モニタシステム】
 自動プログラムで制御が可能になるC-MOSセンサーが内蔵
【設置要件、ユーテリティ―】¥
 ※ 装置サイズ : 720mm(W)×700mm(D)×950mm(H)
  ※ 重量    : 100kg
  ※ 電源    : 90–260 VAC(アース付必須), 50/60Hz、400W
  ※ ガス    : ガス種アルゴン(Ar)純度99.999 %以上
  ※使用圧力 : 0.05 Mpa(0.5 bar)6.0 mmチューブ使用
           (アルゴンガス、ガス調圧器および調圧器側チューブコネクターはお客様のご準備品となります。)
 ※室温 : 15~35 ℃、湿度<80 %
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