膜厚モニター FE-300

膜厚モニター FE-300の画像です

コンパクト・低価格・高性能!
簡単操作で10nm~40μmの高精度な膜厚測定ができます。
絶対反射率測定、多層膜厚解析(10層)、光学定数解析
(n:屈折率、k:消衰係数)の測定が可能です。

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  • メーカー
    大塚電子株式会社
  • 型式
    FE-300

特徴

  • 薄膜から厚膜の幅広い膜厚に対応
  • 反射スペクトルを用いた膜厚解析
  • コンパクト・低価格でありながらも高精度測定を実現
  • 条件設定や測定操作が簡単。どなたでも手軽に膜厚測定可能。
  • 非線形最小二乗法、最適化法、PV法、FFT解析法などによって幅広い種類の膜厚測定が可能
  • 非線形最小二乗法の膜厚解析アルゴリズムにより、光学定数解析(n:屈折率、k:消衰係数)が可能

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