膜厚モニター

コンパクト・低価格・高性能！
簡単操作で10nm～40μmの高精度な膜厚測定ができます。
絶対反射率測定、多層膜厚解析（10層）、光学定数解析
（n：屈折率、k：消衰係数)の測定が可能です。

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• メーカー

  大塚電子株式会社

• 型式

  FE-300

特徴

• 薄膜から厚膜の幅広い膜厚に対応
• 反射スペクトルを用いた膜厚解析
• コンパクト･低価格でありながらも高精度測定を実現
• 条件設定や測定操作が簡単。どなたでも手軽に膜厚測定可能。
• 非線形最小二乗法、最適化法、PV法、FFT解析法などによって幅広い種類の膜厚測定が可能
• 非線形最小二乗法の膜厚解析アルゴリズムにより、光学定数解析（n：屈折率、k：消衰係数）が可能