顕微分光膜厚計
各種フィルム・ウェハ・光学材料のコーティング膜厚や多層膜を非破壊・非接触測定。
測定時間は1秒/pointの高速測定が可能で初心者でも簡単に光学定数解析ができるソフトウェアを搭載。
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- メーカー
- 大塚電子
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- 型式
- OPTM series
特徴
- 膜厚測定に必要な機能をヘッド部に集約！
- 顕微分光で高精度な絶対反射率測定（多層膜厚、光学定数）
- １ポイント１秒以内の高速測定
- 顕微下で広い測定波長範囲を実現する光学系（紫外～近赤外）
- エリアセンサーによる安全機構
- 初めての方でも光学定数解析が可能な楽々解析ウイザード
- 測定シーケンスをカスタマイズ可能なマクロ機能搭載
- 各種カスタマイズに対応
その他
【測定項目】
・絶対反射率測定
・膜厚解析
・光学定数解析（n：屈折率、ｋ：消衰係数）
