スピンコーター
コンパクトボディーに機能を凝縮、簡単に膜厚作業が可能。
一人に1台のワンサイズ、ハイパフォーマンスモデルです。
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- メーカー
- ミカサ株式会社
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- 型式
- MS-B100
特徴
- 優れたコストパフォーマンス・コンパクト設計
- ±1rpmと、非常に高い回転精度
- 回転数表示は信頼性の高い実回転数表示
- プログラムは最大100ステップ入力可能
- 回転スロープアップ/ダウン機能付
- 角基板等に便利な停止位置設定機能付
- アクリル製蓋付（鍋蓋式）
仕様
【最大基板サイズ】 φ4ｲﾝﾁｳｴﾊｰまたは75㎜角基板
【回転数(rpm)】 20～8,000
【回転精度】 ±1rpm(負荷時)
【プログラム機能】 100ステップ×10パターン、回転数、時間(999.9sec)、Slope、position、
プログラム№呼出機能、真空モード切替、真空圧表示の切替、キープロテクト機能
【ｾｰﾌﾃｨｰｲﾝﾀｰﾛｯｸ】 蓋：オプション 真空：標準装備
【滴下 装置】 オプション
【使用真空源】 -0.08～-0.1MPa
【電 源】 AC100～240V 50/60Hz 5A
【外形寸法(㎜)】 260W×230H×330D
【スピン室内径】 φ220㎜
【重 量】 12kg
